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    SE-VM光譜橢偏儀
    SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀??蓪崿F科研/企業級高精度快速光譜橢偏測量,支持多角度,微光斑,可視化調平系統等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設計。
  • 一、概述

    SE-VM 是一款超高精度快速測量光譜橢偏儀,其采用自主研發的橢偏創新技術,具備 雙旋轉補償器同步控制技術,2 透明基底消背反技術 等領先技術。快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度,微光斑,可視化調平系統等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設計。

    ■  高精度橢偏測量解決方案;

    ■  超高精度、快速無損測量;

    ■  支持多角度、微光斑、可視化調平系統功能模塊靈活定制;

    ■  豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力。

    二、產品特點

    ■ 采用高性能進口復合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm),可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

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    ■  高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現Psi/Delta光譜數據高速采集;

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    ■ 支持系列配置靈活,可根據不同應用場景支持多功能模塊化定制;

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    ■ 數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;

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    三、產品應用

           廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現光學薄膜、納米結構的光學常數和幾何特征尺寸快速的表征分析。

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    四、產品技術參數


    建議配件

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    溫控臺Mapping擴展模塊真空泵透射吸附組件
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  •  下載鏈接


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      發布時間:2021-08-08 15:06

      永久有效


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