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橢偏盛會,相約北京——頤光科技參加“第九屆國際光譜橢偏大會”
OPTICS NEWS
2022-05-25

       2022年5月23日,第九屆國際光譜橢偏大會(9th International Conference onSpectroscopic Ellipsometry, ICSE-9)以線上的形式在北京召開。自1993年召開第一屆ICSE以來,國際光譜橢偏大會一直是世界各國與會者討論橢偏光學新進展的地方,為從事光學橢偏研究和應用的科學家和工程師提供直接的知識交流和學術討論機會。


       本次大會是在頤光科技創始人、華中科技大學劉世元教授和中科院力學所靳剛研究員的聯合申請下首次在我國召開的國際橢偏盛會,劉世元教授任本次大會組委會Program Chair。頤光科技作為本次國際橢偏大會唯一國內鉑金參展商,將在本次國際會議上發布最新一代的穆勒矩陣橢偏儀產品,光譜范圍覆蓋深紫外至近紅外(190-2500nm),光斑尺寸優于25*60μm2,達到國際最先進水平。


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本次大會華中科技大學谷洪剛博士和Weber State University Alyssa Mock博士榮獲第九屆國際光譜橢偏大會Paul Drude獎項,是目前國際橢偏學界最具影響力的獎項。值得一提的是,谷洪剛博士成為首次獲此殊榮的華人學者,表彰其在Development of advanced Mueller matrix ellipsometry and itsapplication in 2D materials方面的貢獻。頤光科技贊助第九屆國際光譜橢偏大會Paul Drude獎以紀念物理學先驅Paul Drude先生在光譜橢偏領域的開創性貢獻,并對兩位獲獎學者表示祝賀。

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頤光科技作為先進橢偏測量引領者,在本次大會上共發表2篇口頭報告、1篇口頭展示報告和3篇墻報,展示公司近年來在橢偏測量領域的相關進展。其中應用總監陶澤博士作了題為“Optical critical dimension measurements in advanced integrated circuit”的口頭報告,介紹了公司橢偏儀產品在集成電路膜厚OCD量測中的應用;系統部經理陳軍先生作了題為“Integrated application of spectroscopic ellipsometer for CMP processmonitor”的口頭報告,展示了公司橢偏儀產品在半導體化學機械拋光工藝集成式膜厚在線監測中的應用。

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頤光科技預祝第九屆國際光譜橢偏大會舉辦圓滿成功,并期待下一屆的橢偏盛會。頤光科技將一如既往深耕橢偏技術,為從事光學橢偏研究的科學家和工程師提供高性能的橢偏產品及解決方案。

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