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直播預告:國產半導體高端光學量測設備的突破與挑戰
OPTICS NEWS
2022-07-14

直播預告:國產半導體高端光學量測設備的突破與挑戰

頤光科技 2022-07-14 18:21 發表于湖北

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    近年來,由于全球缺芯,半導體檢測設備市場需求屢創紀錄,其市場份額主要被國外大型半導體量測設備企業壟斷。隨著我國先進集成電路的生產需求以及貿易戰導致我國高科技公司相繼遭受技術封鎖,尋求國產化替代成為了當前貿易環境下國內相關集成電路制造企業的重中之重。然而,我國的集成電路膜厚量測裝備開發起步相對較晚,解決國產量測設備技術壁壘、提升國產量測設備品牌任重而道遠。2022年7月15日14:00武漢頤光科技有限公司應用總監陶澤博士就國產量測設備的現狀、發展趨勢等問題接受儀器信息網的訪談,共同探討半導體量測設備的危與機。

      陶澤博士畢業于華中科技大學,一直致力于橢偏測量技術及應用研究。曾參與國家自然科學基金重大研究計劃培育項目“基于廣義橢偏儀的納米結構三惟形貌參數測量理論與方法”的研究,并主導完成湖北省科技支撐計劃項目“基于MOEMS技術的微型光譜橢偏儀研制”。獲國內專利14項,其中授權7項,在Sensors and Actuators A: Physical,Journal of Optics等期刊發表學術論文5篇。?

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